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MF-VO系列真空烘箱
    發(fā)布時(shí)間: 2023-06-28 10:47    

MF-VO系列無(wú)氧真空烘箱設(shè)備是專門設(shè)計(jì)用來(lái)滿足半導(dǎo)體行業(yè)集成電路配套烘箱,它具有先進(jìn)的設(shè)計(jì)理念與工藝技術(shù),可得到質(zhì)量?jī)?yōu)異的品質(zhì)。


MF-VO系列真空烘箱

用途特點(diǎn):

本產(chǎn)品適用于半導(dǎo)體大芯片的加工,面板,模組組件等負(fù)壓除泡工藝。用于去除粘接過程中產(chǎn)生的氣泡。本烘箱采用先真空除泡后無(wú)氧加熱。

 

技術(shù)特點(diǎn): 

采用超高真空泵與超高真空比列閥完全控制整個(gè)過程中真空度;

多重壓力保護(hù)及安全裝置設(shè)計(jì);

可視化窗口設(shè)計(jì)

過程控制

多段式程序控制,真空值、溫度、時(shí)間完全按照程序設(shè)定運(yùn)行,完全滿足現(xiàn)場(chǎng)各種工藝需求;

與配套AUTORECIPE軟件,實(shí)時(shí)溫度、壓力、時(shí)間監(jiān)控軟件,可實(shí)現(xiàn)產(chǎn)品烘箱運(yùn)行參數(shù)管理與生產(chǎn)運(yùn)行記錄、烘箱操作日志等,提高生產(chǎn)效率、控制產(chǎn)品品質(zhì)

設(shè)備特點(diǎn):

溫度均勻度依照GBT30435-2013;

設(shè)備安全符合TS16949/ISO14001/OHAS18001的標(biāo)準(zhǔn)

提供高性價(jià)比的烤箱性能。溫度均勻性、溫度穩(wěn)定性、溫升速率、溫度恢復(fù)時(shí)間等工藝條件;

滿足SECS/GEM標(biāo)準(zhǔn)的半導(dǎo)體封裝測(cè)試設(shè)備接口,工廠軟件可通過其SECS/GEM接口對(duì)烘箱進(jìn)行全面控制和監(jiān)控;

提供相應(yīng)的烘箱噪音檢測(cè)、表面SGS檢測(cè);

配套完成的產(chǎn)品使用手冊(cè)及說(shuō)明。

 

型號(hào)

MF-VO****

1400

1500

2400

2500

循環(huán)系統(tǒng)

熱輻射系統(tǒng)

性能參數(shù)

溫度范圍

RT. + 25°C~250°C

溫度波動(dòng)范圍

100-200℃<±5℃

真空范圍

100KPa~0.1KPa

升溫時(shí)間

<60Min175℃&  < 80Min200℃

烘箱結(jié)構(gòu)

烘箱外腔體選材

烤漆、不銹鋼

烘箱內(nèi)腔體選材

SUS304

保溫材料

高密度陶瓷纖維棉

加熱

不銹鋼加熱管

冷卻方式

氮?dú)廨o助/自然冷卻/冷卻

內(nèi)腔尺寸W *H *D mm

400 *500* 400

500 *550 * 500

400 *500* 400

500 *550 * 500

使用環(huán)境

溫度范圍: 小于 + 45°C  濕度范圍: 小于 75%rh

真空泵

單級(jí)油封式旋片真空泵 

動(dòng)力配置

電源配置

AC380V3PH

AC380V3PH

AC380V3PH

AC380V3PH

烘箱功率

12KVA

12KVA

22KVA

22KVA

  

基本功能配置:

漏電保護(hù)器;

加熱保險(xiǎn)絲;

電源缺相保護(hù);

超溫保護(hù)器;

低溫保護(hù)器;

腔體排氧裝置;

腔體手動(dòng)泄壓閥;

腔體內(nèi)照明;

加熱及冷卻隔板;

腔體高低壓檢測(cè)裝置;

真空泵散熱及排氣回路;

功能選配:

N2流量檢測(cè);

高低溫聯(lián)動(dòng)檢測(cè);

腔體壓力檢測(cè);

自動(dòng)泄壓閥;










服務(wù)熱線:021-64307580

傳真:021-64306520
郵箱:shanghai@mfinetech.com
地址:上海市金山區(qū)春麗路1239號(hào)國(guó)際中小企業(yè)產(chǎn)業(yè)園   (二期) 3號(hào)樓
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